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直流磁控溅射电源用于镀制金属膜及化合物膜，例如金、银、铝、钛、铬等，输出电压为直流，具有稳流功能，稳流精度高（达1%）。
品名 直流磁控溅射电源
型号 MSD系列
输入 相数 三相+N
电压 380V
频率 50Hz
输入方式 4线（含零线）
输出 波形 直流
功率 20kW~200KW（可定制）
电压 0—1200V（可定制）
稳定度 ≤1%
电流 0—200A（可定制）
稳定度 ≤1%
纹波及杂讯 ≤5%或≤3%
效率 ≥90%
控制 控制方式 标准方式：恒流
可选方式：恒流、恒压、恒功率可切换
控制接口 标准方式：面板手动
可选方式：面板手动、PLC模拟接口、RS485(Modbus)
保护 具备缺相、过热、限压、恒功率、过压、过流、短路、超载等保护功能
冷却 风冷或水冷
外型 防护等级 IP21
单元尺寸(W*D*H) 箱体：440(W)X220(H)X560(D) （20KW风冷）
面板：482(W)X248(H)
重量 约30KG（30KW）
备注
